Some tools are subject to strict materials restrictions. The table below helps find the most appropriate equipment for a given target material, but it does not fully reflect how other materials possibly present on the sample may affect stability of the tool.
Classification of the materials is as follow:
- E : etched as target material.
- A1 : authorized in the tool. Can be exposed and may be etched (process dependent).
- A2 : authorized upon staff agreement. Can be loaded in the tool but MUST be fully covered protected by an A1-material.
- B : banned for the tool. Cannot be present on sample, even if traces only or if well covered protected under an A1 material.
Plasma & gas dry patterning ↑
| Material | Nexus | Rapier | AMS | Synapse | DRM | APS | Multiplex | Cobra | RIE1 | RIE2 | uEtch | Xactix |
| Ag | E | A2 | A2 | B | B | A2 | A2 | A2 | B | B | A1 | A1 |
| Al | E | A1 | A1 | B | B | A1 | E | E | A2 | B | A1 | A1 |
| AlCu | E | A2 | A2 | B | B | A2 | A2 | B | B | B | B | A1 |
| Al2O3 | E | A1 | A1 | B | B | A1 | E | E | A2 | B | A1 | A1 |
| AlN | E | A1 | A1 | B | B | A1 | E | E | B | B | A1 | A1 |
| AlScN | E | A1 | A1 | B | B | A1 | E | A2 | B | B | A1 | A1 |
| Au | E | A2 | A2 | B | B | A2 | A2 | A2 | B | B | A1 | A1 |
| BARC | E | E | E | E | E | E | E | E | A1 | A1 | B | A1 |
| BCB | E | A1 | A1 | B | B | E | A1 | A1 | B | B | B | A1 |
| Borofloat | E | A1 | A1 | B | B | E | A2 | A2 | B | B | B | A1 |
| BTO | E | A1 | A1 | B | B | A1 | A1 | A1 | B | B | B | A1 |
| Co | E | A2 | A2 | B | B | A2 | A2 | A2 | B | B | A1 | A1 |
| Cr | E | A2 | A2 | B | B | A1 | A2 | A2 | B | B | A1 | A1 |
| Cu | E | A2 | A2 | B | B | A2 | A2 | B | B | B | B | A1 |
| Diamond | E | A1 | A1 | B | B | E | E | E | B | B | A1 | A1 |
| DLC | E | A1 | A1 | A1 | B | E | E | E | B | B | A1 | A1 |
| Fe | E | A2 | A2 | B | B | A2 | A2 | A2 | B | B | B | A1 |
| GaAs | E | A2 | A2 | B | B | A2 | E | A2 | B | B | B | A1 |
| GaN | E | A1 | A1 | B | B | A1 | E | A2 | B | B | B | A1 |
| Ge | E | E | E | B | B | E | E | E | E | B | B | E |
| GeSn | E | A2 | A2 | B | B | A2 | A2 | A2 | B | B | B | A1 |
| Graphene | E | E | E | B | B | E | E | E | E | A1 | B | A1 |
| Graphite | E | E | E | B | B | E | E | E | E | A1 | B | A1 |
| hBN | E | A1 | A1 | B | B | A1 | E | E | E | B | A1 | E |
| HfO2 | E | A1 | A1 | B | B | A1 | E | E | A2 | B | A1 | A1 |
| InAs | E | A2 | A2 | B | B | A2 | A2 | A2 | B | B | A1 | A1 |
| Ir | E | A2 | A2 | B | B | A2 | A1 | B | B | B | A1 | A1 |
| ITO | E | A2 | A1 | B | B | A1 | A2 | A2 | B | B | B | A1 |
| LiNbO3 | E | A2 | A1 | B | B | E | E | B | B | B | A1 | A1 |
| LiTaO3 | E | A2 | A1 | B | B | E | E | B | B | B | B | A1 |
| Mo | E | A1 | A1 | B | B | A1 | E | E | B | B | A1 | E |
| MoS2 | E | A1 | A1 | B | B | A1 | E | E | B | B | A1 | A1 |
| Nb | E | A1 | A1 | B | B | E | E | E | B | E | A1 | A1 |
| NbN | E | A1 | A1 | B | B | E | E | E | B | E | A1 | A1 |
| NbTiN | E | A1 | A1 | B | B | E | E | E | B | E | B | A1 |
| Ni | E | A1 | A1 | B | B | A1 | A1 | A1 | B | B | A1 | A1 |
| Parylene | E | E | E | E | B | E | E | E | B | B | A1 | A1 |
| Pd | E | A1 | A1 | B | B | A1 | E | A1 | A2 | B | A1 | A1 |
| PDMS | E | A1 | A1 | B | B | E | A2 | A2 | B | B | B | A1 |
| Polyimide | E | E | E | E | B | E | E | E | A1 | B | B | A1 |
| Pt | E | A1 | A1 | B | B | A1 | E | A1 | A2 | A2 | A1 | A1 |
| Pyrex | E | A1 | A1 | B | B | E | A2 | A2 | B | B | B | A1 |
| PZT | E | A2 | A2 | B | B | A2 | A2 | B | B | B | B | A1 |
| Resist | A1 | A1 | A1 | A1 | A1 | A1 | A1 | A1 | A1 | A1 | B | A1 |
| Sapphire | E | A1 | A1 | B | B | A1 | E | E | B | B | A1 | A1 |
| Si | E | E | E | A1 | A1 | A1 | E | E | A1 | A1 | A1 | E |
| SiC | E | A1 | A1 | A1 | A1 | E | E | E | B | B | A1 | A1 |
| SiGe | E | E | E | B | B | E | A1 | A1 | E | B | B | E |
| SiN | E | E | E | E | E | E | E | E | A1 | A1 | B | A1 |
| SiO2 | E | E | E | E | E | E | E | E | A1 | A1 | E | A1 |
| SU8 | A1 | A2 | A2 | B | B | A2 | B | B | B | B | A1 | A1 |
| Ta | E | A1 | A1 | B | B | A1 | E | E | B | E | B | A1 |
| TaN | E | A1 | A1 | B | B | A1 | E | E | B | E | B | A1 |
| Ti | E | A1 | A1 | B | B | A1 | E | E | A2 | E | B | A1 |
| TiN | E | A1 | A1 | B | B | A1 | E | E | B | E | B | A1 |
| TiO2 | E | A1 | A1 | B | B | A1 | E | E | B | E | B | A1 |
| VO2 | E | A1 | A1 | B | B | A1 | E | E | B | B | B | A1 |
| W | E | A1 | A1 | B | B | A1 | E | E | B | B | A1 | A1 |
| ZnO | E | A2 | A2 | B | B | A2 | A2 | A2 | B | B | B | A1 |
| ZrO2 | E | A1 | A1 | B | B | A1 | E | E | B | B | A1 | A1 |