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Double diplôme EPFL-École Centrale de Lille
Double diplôme EPFL-ISAE SUPAERO | Génie mécanique
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Master conjoint EPFL-ETH Zurich | Cybersécurité
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2. Machines électriques
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6. De temps en temps
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Nanoscribe Photonic Professional GT+
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Retour: Exposure tools: DUV (λ = 248nm) stepper
ASML PAS 5500/350C
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ASML 4x reticle visual guide
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Retour: Exposure tools: mask-aligners
Süss MA6Gen3
Retour: Süss MA6Gen3
MA6 Gen3 Manual
MA6 Gen3 Assisted Alignment Manual
MA6 Gen3 Film Masks Manual
Süss MA6/BA6
Retour: Süss MA6/BA6
MA6 Manual
BA6 Manual
Süss MJB4
Retour: Süss MJB4
MJB4 Manual
Photolithography wet benches
Retour: Photolithography wet benches
Plade Solvent Z01
Retour: Plade Solvent Z01
Plade Solvent, Lift-off Manual
Coillard Solvent Z06
Plade Solvent Z06
Arias Solvent Z13
Arias Base Z13
Additional hot plates / ovens
Retour: Additional hot plates / ovens
YES III, HMDS primer oven
Accuplate, hotplate for SU-8 PEB and hardbake
Retour: Accuplate, hotplate for SU-8 PEB and hardbake
Accuplate Manual
Dataplate, hotplate for SU-8 softbake, PEB or hardbake
Retour: Dataplate, hotplate for SU-8 softbake, PEB or hardbake
Dataplate Manual
Etching
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Plasma Etching
Retour: Plasma Etching
STS Multiplex ICP
Alcatel AMS 200 SE
SPTS APS
Oxford PRS900
Tepla 300
Tepla GiGAbatch
TEL Unity Me
Ion Beam Etching
Retour: Ion Beam Etching
Veeco Nexus IBE350
Gas Etching
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SPTS uEtch
XeF2 Silicon etching system
Grinding / Polishing
Retour: Grinding / Polishing
STEAG MECAPOL 460 – CMP (CHEMICAL MECHANICAL POLISHING)
DAG810 – AUTOMATIC SURFACE GRINDER
Wet Etching
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UFT Piranha
UFT Resist
Plade Oxide
Plade Metal
Plade Six Sigma KOH
Tousimis Automegasamdri 915B – Critical Point Dryer
Arias Acid
Thin films
Retour: Thin films
LPCVD / Dry or wet oxidation / Alloying / Doping / Diffusion / Densification / Annealing / ALD
Retour: LPCVD / Dry or wet oxidation / Alloying / Doping / Diffusion / Densification / Annealing / ALD
Centrotherm furnaces
Plade RCA
Plade Reclaim
ATOMIC LAYER DEPOSITION BENEQ TFS200 (ALD 1)
ATOMIC LAYER DEPOSITION BENEQ TFS200 (ALD 2)
RTP JETFIRST 200
Evaporation
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Alcatel EVA 600
Retour: Alcatel EVA 600
User Manual
Alliance-Concept EVA 760
Retour: Alliance-Concept EVA 760
User Manual
Recipes
Steps
References
Available PVD targets in CMi
Precious material billing
Leybold Optics LAB 600H
Retour: Leybold Optics LAB 600H
User Manual
Recipes
Recipe Categories
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Vacotec
Vacotec VACO 250
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User Manual
Boats
Sputtering
Retour: Sputtering
Balzers BAS 450
Retour: Balzers BAS 450
User Manual
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Pfeiffer SPIDER 600
Retour: Pfeiffer SPIDER 600
Recipes
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Alliance-Concept DP 650
Retour: Alliance-Concept DP 650
Recipes
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Pulsed Laser Deposition
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Solmates SMP 800
Retour: Solmates SMP 800
Available PVD targets in CMi
Electroplating / Parylene coating
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Desaules, wet bench for electroplating
Silicet Electroplating unit, Cu
Comelec C-30-S
Metrology
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AFM
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Bruker FastScan AFM
FIB / SEM / EDX / ProSEM
Retour: FIB / SEM / EDX / ProSEM
FEI Nova 600 NanoLab
Zeiss LEO 1550
Zeiss MERLIN
EDX
ProSEM software
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Mechanical profilometers
Retour: Mechanical profilometers
Tencor Alpha-Step 500
Bruker Dektak XT
KLA Tencor D600
Nikon Digimicro
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Retour: Optical measurement
Krüss DSA-30E
Retour: Krüss DSA-30E
Krüss DSA-30E Manual
Krüss / ImageJ Surface Tension Manual
Krüss Surface Free Energy Models
Sopra GES 5E
Veeco Wyko NT1100
Filmetrics Profilm 3D
Nanospec AFT-6100
FilMetrics F20-UV
Filmetrics F54
Toho Technology FLX 2320-S
Bruker VERTEX70 FT-IR
Electrical measurement
Retour: Electrical measurement
KLA Tencor OmniMap RS75
Süss PM8
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Nikon Optiphot 200, inspection microscope
Nikon Optiphot 150, inspection microscope
Nikon MM 40, inspection and 2-D metrology microscope
Mitutoyo, inspection microscope
Nikon Eclipse LV150 microscope
Packaging – Miscellaneous
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Bonding
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Süss SB6
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Süss SB6 Manual
TPT HB10
Laser Machining – Milling
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OPTEC LSV3
T-Tech QC5000S-E
Dicing – Cutting
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Disco DAD321
Graphtec RoboPro CE5000-40-CRP
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NanoImprint EHN-3250
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