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Photolithography
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Automatic coaters and developers
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Süss ACS200 GEN3
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RITETRACK 88 SERIES – AUTOMATIC COATER AND DEVELOPER TRACKS
Hamatech HMR900
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ATMsse OPTIspin SB20 Manual
Sawatec LSM-250 & HP-200
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Sawatec LSM-200 & HP-401-Z
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Sawatec LSM-200 & HP-401-Z Manual
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Laurell WS-650-23 Manual
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Heidelberg Instruments VPG200
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MLA150 Manual
HIMT “convert” Manual (MLA150)
Nanoscribe Photonic Professional GT+
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Nanoscribe PPGT+ Manual
Nanoscribe Alignment Manual
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Exposure tools: DUV (λ = 248nm) stepper
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ASML PAS 5500/350C
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ASML 4x reticle template
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Exposure tools: mask-aligners
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Süss MA6Gen3
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MA6 Gen3 Manual
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MA6 Gen3 Film Masks Manual
Süss MA6/BA6
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Süss MJB4
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Photolithography wet benches
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Plade Solvent Z01
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Plade Solvent, Lift-off Manual
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Additional hot plates / ovens
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YES III, HMDS primer oven
Accuplate, hotplate for SU-8 PEB and hardbake
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Accuplate Manual
Dataplate, hotplate for SU-8 softbake, PEB or hardbake
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Dataplate Manual
Etching
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STS Multiplex ICP
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Veeco Nexus IBE350
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SPTS uEtch
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STEAG MECAPOL 460 – CMP (CHEMICAL MECHANICAL POLISHING)
DAG810 – AUTOMATIC SURFACE GRINDER
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Arias Acid
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LPCVD / Dry or wet oxidation / Alloying / Doping / Diffusion / Densification / Annealing / ALD
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Centrotherm furnaces
Plade RCA
Plade Reclaim
ATOMIC LAYER DEPOSITION BENEQ TFS200 (ALD 1)
ATOMIC LAYER DEPOSITION BENEQ TFS200 (ALD 2)
RTP JETFIRST 200
Evaporation
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Alcatel EVA 600
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User Manual
Alliance-Concept EVA 760
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Recipes
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Leybold Optics LAB 600H
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Boats
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Balzers BAS 450
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Recipes
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Alliance-Concept DP 650
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Recipes
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Precious material billing
Pulsed Laser Deposition
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Solmates SMP 800
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Available PVD targets in CMi
Electroplating / Parylene coating
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Desaules, wet bench for electroplating
Silicet Electroplating unit, Cu
Comelec C-30-S
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FEI Nova 600 NanoLab
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XPS / AES available at MHMC
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Tencor Alpha-Step 500
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Krüss DSA-30E Manual
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KLA Tencor OmniMap RS75
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Süss PM8 Manual
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Nikon Optiphot 200, inspection microscope
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Süss SB6 Manual
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OPTEC LSV3
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Disco DAD321
Graphtec RoboPro CE5000-40-CRP
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NanoImprint EHN-3250
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